《微納電子技術(shù)》于1964年創(chuàng)辦，全刊信息多卻有條有理，堅持打造交流思想和經(jīng)驗共享的主流平臺，國內(nèi)刊號為：13-1314/TN，創(chuàng)刊多年來受到許多讀者的支持和喜愛。
《微納電子技術(shù)》匯集了納米電子、機械、材料、制造、測量以及物理、化學(xué)和生物等不同學(xué)科新生長出來的微小和微觀領(lǐng)域的科學(xué)技術(shù)群體，通過報道國內(nèi)外納米電子技術(shù)方面的研究論文和綜述動態(tài)。
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| 學(xué)者姓名 | 發(fā)文量 | 主要研究主題 |
| 劉玉嶺 | 87 | 化學(xué)機械拋光；CMP；拋光液；去除速率；ULSI |
| 王辰偉 | 48 | CMP；阻擋層；拋光液；堿性拋光液；化學(xué)機械拋... |
| 楊擁軍 | 36 | MEMS；微電子機械系統(tǒng)；微機械；硅；傳感器 |
| 熊繼軍 | 34 | 無線無源；MEMS；壓力傳感器；傳感器；高溫壓力... |
| 郭維廉 | 33 | 共振隧穿二極管；RTD；負阻器件；共振隧穿器件... |
| 蔡理 | 32 | 單電子晶體管；量子元胞自動機；QCA；積分器；... |
| 張文棟 | 31 | 矢量水聽器；MEMS；加速度計；電容式；微機械 |
| 趙正平 | 30 | GAN；高電子遷移率晶體管；MEMS；HEMT；MMIC |
| 黃慶安 | 26 | MEMS；風(fēng)速風(fēng)向傳感器；微電子機械系統(tǒng)；無源無... |
| 胡松 | 26 | 光刻機；工件臺；光刻；掩模；生物芯片 |
| 機構(gòu)名稱 | 發(fā)文量 | 主要研究主題 |
| 中國科學(xué)院 | 309 | 納米；光刻；晶體管；MEMS；傳感 |
| 中北大學(xué) | 239 | MEMS；微電子；微電子機械；微電子... |
| 中國電子科技集團第十... | 225 | 微電子；微電子機械；微電子機械系... |
| 河北工業(yè)大學(xué) | 183 | CMP；化學(xué)機械拋光；機械拋光；拋... |
| 上海交通大學(xué) | 147 | 納米；微電子；微電子機械；微電子... |
| 太原理工大學(xué) | 113 | 納米；傳感；感器；傳感器；氣敏 |
| 中國科學(xué)院微電子研究... | 111 | 光刻；納米；電子束光刻；金屬；感... |
| 清華大學(xué) | 74 | 感器；傳感；傳感器；自旋；納米 |
| 專用集成電路與系統(tǒng)國... | 60 | 隧穿；遷移率；共振隧穿；RTD；MEM... |
| 中國科學(xué)院大學(xué) | 60 | 微電子；MEMS；微電子機械；微電子... |
| 涉及文獻 | 資助項目 |
| 1199 | 國家自然科學(xué)基金 |
| 195 | 國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃 |
| 163 | 國家重點基礎(chǔ)研究發(fā)展計劃 |
| 77 | 河北省自然科學(xué)基金 |
| 73 | 山西省自然科學(xué)基金 |
| 63 | 國家中長期科技發(fā)展規(guī)劃重大專項 |
| 46 | 江蘇省自然科學(xué)基金 |
| 46 | 北京市自然科學(xué)基金 |
| 43 | 中央高?；究蒲袠I(yè)務(wù)費專項資金 |
| 41 | 國家科技重大專項 |
| 涉及文獻 | 資助課題 |
| 40 | 國家中長期科技發(fā)展規(guī)劃重大專項(2009ZX02308) |
| 16 | 國家自然科學(xué)基金(51035005) |
| 16 | 河北省自然科學(xué)基金(E2013202247) |
| 14 | 國家自然科學(xué)基金(61172043) |
| 14 | 陜西省自然科學(xué)基金(2011JZ015) |
| 9 | 國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(2011AA050507) |
| 7 | 北京市留學(xué)人員科技活動擇優(yōu)資助項目(66062021) |
| 7 | 國家自然科學(xué)基金(60777016) |
| 7 | 國家自然科學(xué)基金(10676008) |
| 7 | 國家自然科學(xué)基金(61176108) |
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