《微納電子技術(shù)》雜志是統(tǒng)計(jì)源期刊。
《微納電子技術(shù)》雜志基本信息
《微納電子技術(shù)》于1964年創(chuàng)辦，全刊信息多卻有條有理，堅(jiān)持打造交流思想和經(jīng)驗(yàn)共享的主流平臺，國內(nèi)刊號為：13-1314/TN，創(chuàng)刊多年來受到許多讀者的支持和喜愛。
《微納電子技術(shù)》匯集了納米電子、機(jī)械、材料、制造、測量以及物理、化學(xué)和生物等不同學(xué)科新生長出來的微小和微觀領(lǐng)域的科學(xué)技術(shù)群體，通過報道國內(nèi)外納米電子技術(shù)方面的研究論文和綜述動態(tài)。
雜志主要發(fā)文機(jī)構(gòu)有哪些？發(fā)文量分別是多少？
| 機(jī)構(gòu)名稱 | 發(fā)文量 | 主要研究主題 |
| 中國科學(xué)院 | 309 | 納米；光刻；晶體管；MEMS；傳感 |
| 中北大學(xué) | 239 | MEMS；微電子；微電子機(jī)械；微電子機(jī)械系統(tǒng)；傳感 |
| 中國電子科技集團(tuán)第十三研究所 | 225 | 微電子；微電子機(jī)械；微電子機(jī)械系統(tǒng)；MEMS；激光 |
| 河北工業(yè)大學(xué) | 183 | CMP；化學(xué)機(jī)械拋光；機(jī)械拋光；拋光液；去除速率 |
| 上海交通大學(xué) | 147 | 納米；微電子；微電子機(jī)械；微電子機(jī)械系統(tǒng)；MEMS |
| 太原理工大學(xué) | 113 | 納米；傳感；感器；傳感器；氣敏 |
| 中國科學(xué)院微電子研究所 | 111 | 光刻；納米；電子束光刻；金屬；感器 |
| 清華大學(xué) | 74 | 感器；傳感；傳感器；自旋；納米 |
| 專用集成電路與系統(tǒng)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 | 60 | 隧穿；遷移率；共振隧穿；RTD；MEMS |
| 中國科學(xué)院大學(xué) | 60 | 微電子；MEMS；微電子機(jī)械；微電子機(jī)械系統(tǒng)；納米 |
| 主題名稱 | 發(fā)文量 | 相關(guān)發(fā)文學(xué)者 |
| 納米 | 680 | 王太宏；張亞非；薛成山；鄒小平；相文峰 |
| 傳感 | 487 | 熊繼軍；梁庭；譚秋林；楊擁軍；張文棟 |
| 傳感器 | 459 | 熊繼軍；梁庭；譚秋林；楊擁軍；張文棟 |
| 感器 | 458 | 熊繼軍；梁庭；譚秋林；楊擁軍；張文棟 |
| MEMS | 390 | 楊擁軍；張國軍；張文棟；汪蔚；丑修建 |
| 微電子 | 303 | 楊擁軍；張國軍；張文棟；高楊；王任鑫 |
| 微電子機(jī)械 | 274 | 楊擁軍；張國軍；高楊；張文棟；王任鑫 |
| 微電子機(jī)械系統(tǒng) | 272 | 楊擁軍；張國軍；高楊；張文棟；王任鑫 |
| 半導(dǎo)體 | 239 | 陳宏泰；楊紅偉；安振峰；張世祖；花吉珍 |
| 電路 | 204 | 李惠軍；蔡理；郭維廉；楊曉闊；牛萍娟 |
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