《微細(xì)加工技術(shù)》雜志是統(tǒng)計(jì)源期刊。
《微細(xì)加工技術(shù)》雜志基本信息
《微細(xì)加工技術(shù)》于1983年創(chuàng)辦，全刊信息多卻有條有理，堅(jiān)持打造交流思想和經(jīng)驗(yàn)共享的主流平臺(tái)，國(guó)內(nèi)刊號(hào)為：43-1140/TN，創(chuàng)刊多年來受到許多讀者的支持和喜愛。
雜志主要發(fā)文機(jī)構(gòu)有哪些？發(fā)文量分別是多少？
| 機(jī)構(gòu)名稱 | 發(fā)文量 | 主要研究主題 |
| 中國(guó)科學(xué)院 | 192 | 光刻；電子束曝光；曝光機(jī)；電子束曝光機(jī)；掩模 |
| 上海交通大學(xué) | 129 | 微機(jī)電系統(tǒng)；電系統(tǒng)；機(jī)電系統(tǒng)；MEMS；刻蝕 |
| 清華大學(xué) | 60 | 微細(xì)；光刻；微細(xì)加工；離子束；聚焦離子束 |
| 中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué) | 47 | 刻蝕；離子束；離子束刻蝕；光刻；衍射 |
| 電子工業(yè)部 | 46 | 離子注入；注入機(jī)；離子注入機(jī)；半導(dǎo)體；電路 |
| 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 | 38 | 光刻；掩模；X射線光刻；電子束曝光；分辨率 |
| 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所 | 34 | 光柵；MEMS；刻蝕；光刻；傳感 |
| 山東大學(xué) | 29 | 電子束；電子束曝光；曝光機(jī)；電子束光刻；電子束曝光機(jī) |
| 山東工業(yè)大學(xué) | 28 | 電子束曝光；曝光機(jī)；電子束曝光機(jī)；電子束；電路 |
| 華中理工大學(xué) | 26 | 刻蝕；濺射；半導(dǎo)體；等離子體；離子束 |
| 主題名稱 | 發(fā)文量 | 相關(guān)發(fā)文學(xué)者 |
| 光刻 | 151 | 姚漢民；馮伯儒；胡松；葉甜春；張錦 |
| 離子注入 | 105 | 張通和；楊建華；吳瑜光；顏亨迪；關(guān)安民 |
| 電子束曝光 | 79 | 張玉林；顧文琪；薛虹；張福安；王紹鈞 |
| 刻蝕 | 76 | 蔡炳初；徐向東；丁桂甫；楊春生；趙小林 |
| 半導(dǎo)體 | 72 | 郭華聰；周兆英；覃志國(guó)；張鵬飛；陳迪平 |
| 電路 | 70 | 陳旭南；王紹鈞；姚漢民；馮伯儒；郭華聰 |
| 微細(xì) | 65 | 王振龍；趙萬生；伊福廷；俞學(xué)東；趙小林 |
| 集成電路 | 64 | 陳旭南；王紹鈞；姚漢民；馮伯儒；郭華聰 |
| 微細(xì)加工 | 59 | 伊福廷；俞學(xué)東；趙小林；王學(xué)超；畢建華 |
| 曝光機(jī) | 57 | 張玉林；薛虹；張福安；陳振生；顧文琪 |
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